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半导体材料 |
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日本开发出用低温来实现多晶硅的结晶化技术 |
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| http://cn.newmaker.com
7/8/2008 12:44:00 PM
《日经产业新闻》
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山口大学开发出低温结晶硅，在树脂底板上制造晶体管
山口大学三好正毅教授与河本直哉等开发出了用比原来低200度以上的低温来实现多晶硅的结晶化技术。这样在耐热较差的塑料上也能制造硅晶体管。如果能在柔软的薄塑料上制造硅晶体管的话，便可开发可弯曲的低价位显示器。目标是与企业合作、争取5年后达到实用水平。
使用两种激光来实现多晶硅的结晶。将多晶硅材料放在底板上，用具有紫外线和可视光波长的激光同时以仅5ns（1ns为1/10亿秒）的速度瞬间照射。重复该操作100次，就会产生结晶硅。已确认在摄氏250度以下即可实现结晶化。
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