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富士通展出CNT与石墨烯的复合晶圆 |
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| http://cn.newmaker.com
5/16/2008 1:58:00 PM
日经BP社
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富士通于2008年5月13日，在该公司“富士通论坛2008”（5月15～16日，东京国际论坛）面向媒体举办的内部展会上，展出了该公司已开发和在开发的各种技术。
在“纳米技术”展区，富士通展出了用于新一代半导体布线和晶体管的热门候选材料——“碳复合构造体”。这是一种具有在碳原子组成的二维石墨烯上，生长有大量碳纳米管（CNT）构造的材料。
富士通设想，碳复合体的CNT部分可用于LSI中的纵向布线，石墨烯部分可用于横向布线，或是散热等用途。一般情况下，CNT的生长位置和长度难以控制，而这种碳复合体具有“由于CNT的生长位置在石墨烯上已经确定，因此只需控制生长时间，即可统一长度”（富士通纳米技术研究中心主任研究员大渊真理）的优势。
该公司表示，该碳复合体的发现是因为：“当进行CNT在硅晶圆上的生长实验时，原本应为无光泽黑色的晶圆出现了微弱的金属光泽”。此次，该公司分别展出了（1）硅晶圆，（2）只生长有CNT的硅晶圆，（3）生长有碳复合体的硅晶圆，其差别一目了然。
碳复合体之所以具有金属光泽，是因为石墨烯层的自由电子密度高，反射了大部分可见光。即使石墨烯仅为数层非常薄的情况下，也可以看到金属光泽。
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