佳工机电网 在线工博会 我的佳工网 手机版 English
关键字  
  选择展区 >>
您的位置: 首页 > 电子/通讯/办公文具展区 > 电子工业设备展厅 > 新闻 > 正文 产品 会展 人才 帮助 | 注册 登录  
电子工业设备
 按行业筛选
 按产品筛选
本产品全部新闻


e展厅 产品库 视频 新闻 技术文章 企业库 下载/样本 求购/论坛
  市场动态 | 技术动态 | 企业新闻 | 图片新闻 | 新闻评论 佳工网行业新闻--给您更宽的视角 发表企业新闻 投稿 
美国应用材料发布面向45nm以后工艺的激光退火装置
http://cn.newmaker.com 12/4/2009 3:48:00 PM  日经BP社
欢迎访问e展厅
展厅
3
电子工业设备展厅
电路板生产设备, 分板机, 贴片机, 波峰焊, 回流焊, ...
美国应用材料公司(Applied Materials)发布了能够以ms为单位进行退火的激光退火装置“Applied Vantage Astra”。主要在形成45nm工艺以后逻辑LSI的镍硅(NiSi)接触时使用。台湾台积电(Taiwan Semiconductor Manufacturing,TSMC)已决定在28nm工艺的逻辑LSI上采用该装置。

Applied Vantage Astra可采用波长为810nm的固体激光来局部提高晶圆表面的温度。例如,可在ms单位内将200℃以下的晶圆表面加热至1000℃以上。用于形成MOS晶体管源漏极的镍硅接触时,通过减小镍硅中的缺陷、以及改善界面状态,晶体管的通态电流增加了3~4%。

除了镍硅外,该装置还可用于High-k/金属栅极、三维元件和内存等领域。应用材料将在“SEMICON JAPAN 2009”(12月2日~4日,幕张Messe会展中心)上介绍Applied Vantage Astra。

发表评论】【新闻评论】【论坛】【收藏此页
更多有关电子工业设备的新闻:
·[图]流动中激活:高科技胶粘剂的新工艺技术 4/8/2022
·沈阳仪表院成功研制自动图像识别划片机 12/2/2009
·[图]EFD公司点胶机新品可提高关键装配流程的生产率 10/10/2009
·[图]世伟洛克M200焊机推出全新功能和附件 9/8/2009
·[图]ESI向多家LED制造商交付激光晶圆划线机 6/11/2009
·[图]松下发布速度更快的焊锡印刷装置“NPM-DSP” 6/8/2009
·[图]韩国高永展出底板封装生产线使用的3维外观检查装置 6/8/2009
·OKI焊接、拆焊和返修系统获得创新奖 5/13/2009
·[图]直角坐标机械臂实现椭圆形、跑道形扬声器涂胶制造 5/6/2009
·[图]华工激光两项科技成果通过鉴定 5/4/2009
查看与本新闻相关目录:
·电子/通讯/办公文具展区 > 电子工业设备展厅 > 电子工业设备技术动态
·电子元器件及材料展区 > 集成电路展厅 > 集成电路技术动态
·佳工激光网展区 > 激光器展厅 > 激光器技术动态

对 电子工业设备 有何见解?请到
电子工业设备论坛 畅所欲言吧!





网站简介 | 企业会员服务 | 广告服务 | 服务条款 | English | Showsbee | 会员登录  
© 1999-2024 newmaker.com. 佳工机电网·嘉工科技