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沈阳仪表院成功研制自动图像识别划片机
http://cn.newmaker.com 12/2/2009 10:14:00 PM  佳工机电网
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沈阳仪表科学研究院通过自主研发、攻克关键核心技术,成功研制出具有自主知识产权、技术水平国内领先、国际先进的高精度8英寸自动图像识别划片机。目前该划片机产品已销往全国20多个省市自治区,凭借性价比高的优势,在与国外产品市场竞争中占领了一席之地。

划片机是晶圆加工工艺流程中,后道工序中的一个重要设备。主要用于硅片、陶瓷、玻璃、铌酸锂、砷化镓、蓝宝石、铁氧体等脆硬材料的划槽和切割加工,已广泛应用在IC、半导体传感器、LED、NTC、太阳能光伏基片、医用“B超”换能头、光学元器件等产业。据悉,沈阳仪表科学研究院已将12英寸芯片的加工设备作为重点项目进行突破,争取在2010年推出具有自主知识产权、高性能的12英寸全自动划片机。

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