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台湾力晶半导体与欧洲研究机构合作加紧开发32纳米电路技术 |
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http://cn.newmaker.com
2/3/2008 12:45:00 PM
佳工机电网
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台湾著名半导体内存厂商力晶半导体将与欧洲半导体研究机构IMEC(比利时)联手开发线宽32纳米的电路加工技术。IMEC正在研发3~10年后对于半导体厂商不可或缺的技术,力晶将通过与其建立合作关系,在主力产品DRAM的电路微细化竞争方面追赶全球行业巨头。
双方计划开发在硅晶圆上形成LSI(大规模集成电路)的三种曝光技术,包括液浸、二次曝光及EUV(超紫外线)光源。这些均被视为30纳米级电路加工的高端技术。力晶将将于3月份向IMEC派遣技术人员,开始共同研发。(1月31日 《日经产业新闻》)
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