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国内首台自主产权“光刻机”问世 |
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| http://cn.newmaker.com
12/27/2007 9:41:00 AM
佳工机电网
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 国内首台具有世界领先水平、拥有完全自主知识产权的直写式光刻机昨日在合肥面世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。
光刻机是生产电子芯片的最关键设备之一，电子芯片内的电路图案都是由光刻机产生的。中国是全球集成电路的最大消耗国，据统计所用集成电路占全球的24%以上，但是国产集成电路国内市场自给率却少于10%，因此，光刻机被国家“十一五”发展规划明确定义为重点制造装备。据了解，合肥生产的直写式光刻机分辨率达到亚微米级，与目前国际上同类产品相比，已经达到了世界领先水平,可应用于半导体行业、生物、医药、光电、太阳能电池、新能源及薄膜电路等不同领域。开发该产品的芯硕半导体(中国)有限公司将进行大规模生产，一期工程将于明年9月份正式完工。
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