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URE-2000/35新型紫外光刻机研制成功 |
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| http://cn.newmaker.com
7/6/2007 10:51:00 AM
佳工机电网
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近日，中科院光电所成功研发出URE-2000/35自动型光刻机。该产品集新颖性、可靠性、实用性为一体。采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙，采用19英寸大屏幕液晶显示，对准过程方便直观。整机具有性能可靠、外观精美、操作方便、自动化程度高等特点。通过技术创新，既满足了用户的要求，又提高了产品的附加值。
光电所是国内较早开展微电子专长用设备研发的单位之一。在微细加工设备领域，坚持走自主创新之路，加强核心技术、共性技术和关键部件的自主创新，十分重视科技成果的应用和转化。重点在分辨力增强技术、对准技术、均匀照明技术、工件台定位技术、线条侧壁增陡技术等关键单元技术上取得突破，不断推出具有自主知识产权的新产品。
近年来，光电所面对强劲的市场和产业发展需求，先后创新研发的URE-2000A型、URE-2000B型、URE-2000/25型紫外深度光刻机、430mm×430mm超大面积曝光机、URE-2000S型 单双面紫外光刻机、URE-2000L连续浮雕微光学扫描光刻机，为国内外高等院校、科研单位开展微细加工技术创新研究提供了条件支撑，并远销越南、朝鲜、新加坡等国。光电所已成为我国重要的光刻设备制造供应单位，有力地促进了我国微细加工技术和产业的发展。
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