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三菱重工试制有机EL显示器连续式真空蒸镀装置 |
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| http://cn.newmaker.com
4/10/2007 4:06:00 PM
佳工机电网
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 三菱重工开发出了用于连续制造有机EL（Electroluminescence）的连续式真空蒸镀装置。采用线状蒸发源，在连续移动玻璃底板的同时进行蒸镀，不仅将有机EL的利用效率提高到了50%以上，而且还缩短了制程时间(tact time)。
该装置不同于原有的团簇（Cluster）式真空蒸镀装置，主要用于量产。在多层成膜时，通过连接多台装置进行连续处理，便可提高生产率。虽然材料利用率比原来的点状蒸发源低几个百分点，不过通过使用线状蒸发源、在移动底板的同时进行蒸镀，便可大幅提高使用效率、降低成本。
此次试制的验证装置支持尺寸为550mm×650mm的底板。制程时间为2分钟。实机还可支持1000mm见方的玻璃底板。目前以玻璃底板为对象，将来还打算支持柔性底板。
此次的真空蒸镀装置，在日本新能源产业技术综合开发机构（NEDO）的协助下，由三菱重工与山形县产业技术振兴机构——有机电子研究所（RIOE）共同开发。利用试制装置进行的验证将在07年内完成，预定09年开始生产商用机型。该装置的技术将在“第17届平板显示器研究开发·制造技术展”（4月11～13日，东京有明国际会展中心）上发表。
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