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索尼开发出高速高精度的带式激光标线仪
http://cn.newmaker.com 12/12/2006 2:13:00 PM  佳工机电网
索尼开发出高速高精度的带式激光标线仪索尼制造系统(Sony Manufacturing Systems,总部:埼玉县久喜市)面向半导体后工序、液晶制造设备及线性马达工作台(Linear Motor Stage)等的嵌入用途,开发出了带状激光标线仪(Laser Scale) 。标尺部分呈带状,宽10mm ,支持30m通途。不用时,可卷收成圆状。

虽然此前也推出过带式产品,但新产品实现了高速度和高精度。解析精度为0.05μm、0.01μm、0.1μm,响应速度为7.5m/秒。激光头的尺寸为13×21×48mm。定于2007年春上市。

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