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富士胶片开发出新型PZT薄膜，产品将于年内推出 |
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| http://cn.newmaker.com
7/24/2012 9:31:00 AM
日经BP社
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富士胶片在“TECHNO-FRONTIER 2012”（2012年7月11日～13日，东京有明国际会展中心）上展出了压电常数接近原产品两倍的锆钛酸铅（PZT）。该公司曾在2011年12月公开了在6英寸硅基板上制作的开发产品，此次则首次公开了8英寸产品。
富士胶片的开发产品通过在PZT中添加约13％的高浓度铌（Nb）提高了压电常数。此次展示首次公开了压电常数-e31,f的值，开发品的压电常数-e31,f＝25C/m2，与压电常数-e31,f＝13C/m2左右的以前的PZT相比，性能大幅提高。测量工作由德国aixACCT公司负责的。
据富士胶片介绍，采用压电常数-e31,f来评价PZT性能的方法“正逐渐成为业界标准的材料评价方法”。该公司自信地表示，“在实验室水平上，PZT的全球最高-e31,f值为27C/m2左右，不过该材料使用了昂贵的特殊基板。而我们的开发产品可在量产水平上达到-e31,f＝25C/m2”。
8英寸产品需要确保厚度均匀性
富士胶片透露称，达到量产水平的6英寸产品“在2011年12月发布以后，接到了来自日本国内外的大量咨询”，配备该PZT薄膜的传感器和致动器“也在顺利推进开发，应该能够按原计划在2012年内上市”。
关于8英寸产品，目前制作的压电薄膜在厚度均匀性上还存在一些误差。不过，“估计能达到误差范围为±5％的要求”（富士胶片）。（记者：久米 秀尚，《日经电子》）
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