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欧姆龙开发可检测50cm高低差气压变化的绝对压力传感器 |
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| http://cn.newmaker.com
7/11/2012 10:01:00 AM
日经BP社
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欧姆龙开发了可检测50cm高低差气压变化（约6Pa）的压电电阻式“绝对压力传感器”。绝对压力传感器是以真空状态为零气压来检测压力的传感器。设想配备在智能手机及运动量计等上。如果配备在运动量计上，还可测量以前较难测量的上下台阶等有高低差运动。如果配备在汽车导航仪上，则可在立体停车场确保导航仪精度，并可区别高架道路与普通道路。据称，还可用于检测不该开的门被打开或者窗户玻璃被打破时的气压变动等的安全用途。
此次的开发品因使用MEMS接合技术对传感器芯片内部实施真空密封处理，因而能够检测大气与真空状态的压差（绝对压力）。据称通过使用MEMS技术，在传感器芯片内部确保大的真空腔容积，从而使传感器的输入动态范围实现了最大化。
检测范围为300～1100hPa。消耗电流为0.5μ～9.5μA。内置温度传感器，可修正由传感器周围的温度变化导致的气压变动。配备有I2C接口。将压力传感器、模拟放大电路、数字处理电路及非易失性存储器集成于一枚芯片，并采用3.8mm×3.8mm×0.92mm的封装（芯片外形尺寸为1.9mm×1.9mm×0.5mm）。为了满足与其他传感器封装在同一基板上的需求，还将以CMOS电路与MEMS传感器一体化的晶圆形式来提供。
预定2013年1月开始供货。另外，欧姆龙还将在2012年7月11日～13日于东京有明国际会展中心举行的“第23届微机械/MEMS展”上展出这种开发品。（记者：赤坂麻实，Tech-On！）
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