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真空设备/泵 |
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Edwards推出新的iXH645H干泵 适用于LED制造中的MOCVD工艺 |
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| http://cn.newmaker.com
7/6/2012 12:34:00 PM
佳工机电网
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 昨日，全球领先的高精真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵. 新设备经过优化，适用于LED制造中使用的MOCVD工艺，以及在栅堆叠(gate stack)中使用III-V材料的化合物半导体制造工。
Edwards公司LED市场经理邵伟称：“iXH系列干泵的新成员是设计用于满足两个快速发展的高技术制造细分市场的需求。由于具备出色的照明效率，LED照明产品逐渐被视为白炽灯照明的环保替代选择，我们看到，中国、韩国、日本和英国最近通过立法，将逐步淘汰传统的大功率照明产品。同时，在化合物半导体制造中使用III-V材料，正在推动摩尔定律(Moore’s Law)延续到下一代设计节点。”
据了解Edwards推出的iXH系列干泵采用先进的技术，最大限度地减少了维护需求，并实现正常运行时间最大化，有助于降低成本。
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