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恩梯恩开发出薄膜太阳能电池面板的激光划片机 |
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| http://cn.newmaker.com
3/6/2012 9:08:00 AM
日经BP社
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 恩梯恩开发出了在薄膜太阳能电池面板的制造工序中利用激光对电极等进行沟槽加工的激光划片机。该设备的划片范围达到1400mm×1100mm，可加工薄膜太阳能电池的大尺寸面板基板。同时，与原来的大型承载台设备相比，该设备的承载面板基板的承载台部分的重量减轻了约50％。另外还提高了轨道支架的刚性，因此可抑制高速运动时的振动。处理速度最大为3000mm/s，加速度为2.0G。平直度误差为±10μm以下。
新产品配备有可在1064nm、532nm、355nm三种波长中选择的激光振荡部，能够符合各种薄膜材料以及各种划片工序的多种加工条件。激光束的多光束化通过“多激光束方式”和“激光分束方式”两种方式实现。另外还可定制设计，配备客户指定的多种激光器及专用光学装置。操作屏幕采用触摸面板，可通过简单操作来设定条件并确认加工情况。
恩梯恩将充分利用主力商品即轴承及精密仪器所积累的技术实力，今后还将向需求较大的风力发电及太阳能发电等可再生能源领域投放新产品。（记者：赤坂 麻实，Tech-On！）
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