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台湾亚智科技推出全新光阻涂布设备 |
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| http://cn.newmaker.com
2/28/2012 9:35:00 PM
佳工机电网
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2月15日，高科技产业整合解决方案供应商中国台湾亚智科技(Manz Asia Ltd.)推出了全新的光阻涂布设备Manz Slit coater，该设备结合德国ManzAG多年的自动化传输及多轴控制驱动技术，采用气悬浮平台控制技术进行玻璃基板的传输与光阻涂布，可完全免除基板静电及刮伤的问题。
亚智科技总经理陈国平表示：“玻璃基板大尺寸化是未来的发展方向，期望在未来的‘大’竞争市场中立足，不能只依赖因为扩大基板尺寸带来的成本降低所生产的竞争力，而是必须持续进行相关技术的革新。”
目前，全新的Manz Slit Coater应用于平面显示器Array段黄光生产制程的光阻涂布，它的开发导入了源自德国母公司ManzAG的核心技术，在自动化传输及多轴同步控制驱动技术方面运用了气悬浮平台控制技术。
作为一家德国上市公司，“亚智科技专注于平面显示器及触控面板湿制程设备的研发与制造，拥有超过二十年的丰富经验。来自Manz光伏领域先进技术的共享，使Manz Slit Coater在大尺寸面板制造的强劲发展中更具竞争力。”陈国平表示。
从2009年开始，亚智科技投入平面显示器面板生产Array段的黄光制程设备开发，积极跨入干制程设备制造领域，进行产品多样化布局。
目前亚智科技正在进行针对高阶LTPS面板生产制程的光阻涂布的开发。全新双龙门的设计，可快速进行不同光阻材质的涂布切换，减少待机。
此外，搭配超硬合金材质的刀嘴设计，更可大幅降低因涂布异常造成的涂刀损坏，并减少维护时间。亚智科技位于苏州的新工厂将于2012年5月正式投入生产，届时将得以更快的速度响应用户需求，进一步扩大生产产能。
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