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牛尾电机上市仅厚4.9mm的紫外线照度计

http://cn.newmaker.com 12/8/2011 12:23:00 PM 日经BP社

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牛尾电机在2011年12月7日上市了厚度为4.9mm的紫外线（UV）照度计“UIT-θ365”。

在半导体、液晶面板和电子部件等的制造工艺及UV印刷工序中，光刻胶和油墨的硬化、精密部件和镜头的粘结以及光学薄膜的涂布等均通过UV进行，因此需要定期进行UV照度管理以保证质量。但是，由于装置条件和照射环境的关系，有时难以进行测量。据牛尾电机介绍，尤其是在光学薄膜制造和精密部件粘连工序中存在以下课题。

■光学薄膜

以提高生产效率为目的加长薄膜宽度的同时，UV照射面积也会逐渐增大。UV照射量的不均会使质量参差不齐并降低质量，这在原来的小尺寸薄膜中并不会造成影响，为防止出现上述问题需要进行UV照度管理。但是，制造装置的开口部（放入薄膜的部位）存在高度限制，而且光源部和薄膜间的照射距离较窄，因此照度计的厚度问题导致测量难以进行。

■精密部件粘连

为了在极小面积上进行高密度粘连，牛尾电机通过使光源部和照射对象物靠近来维持较高的UV照度，因此需要定期进行UV照度管理。目前，光源部和照射对象物之间的照射距离较窄，因此需要扩大照射距离进行测量。但是，由于与实际照射条件（距离和角度等）存在差异，因此难以准确测量，而且每次测量时需要重新调整照射条件。

针对上述课题，牛尾电机通过利用主要在半导体和液晶面板制造领域培育的UV测量技术，开发出了厚度仅为4.9mm的无线紫外线照度计。不管高度限制和照射距离等照射条件如何，都可以在与实际制造时相同的条件下测量和管理UV照度。

新产品的绝对值校准波长为365nm，灵敏度波长为345nm～385nm。外形尺寸为90mm（带U盘盖时为91mm）×25mm×4.9mm，重量为25g。牛尾电机已经在2011年12月7日～12月9日于幕张Messe会展中心举行的“Semicon Japan 2011”上展出。（记者：赤坂麻实，Tech-On！）

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