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集成气动截止阀、适用于真空喷涂行业的Alicat MCV质量流量控制器 |
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| http://cn.newmaker.com
7/29/2011 10:37:00 PM
佳工机电网
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 美国AlicatScientific的MCV质量流量控制器提供了在真空喷涂和喷溅过程中所需的严密的截止参数，以保持产品的严密性。其集成的气动截止阀是常闭的，保证一个大气压下氦气最大泄漏为1*10-9下阀门的有效关闭。
AlicatMCV可以在响应时间为50-100ms的情况下准确控制气体流速，最小为0.5sccm，最大为20slpm。快速的响应时间可以极大地改良终端产品的真空喷涂，并且帮助清除靶中毒。MCV预先设定30种校准气体，并且显示质量流量、体积流量、绝压和温度。该装置能直接通过键盘进行设置，或者通过RS-232进行远程设置（也可用RS-485）。
MCV采用与所有AlicatScientific流量仪器相同的专利层流差压技术，并且具备可追踪的NIST认证以及CE标志。
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