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微电子创新协作中心获准将Alchimer的湿沉降产品用于MEMS 3D研究

http://cn.newmaker.com 3/3/2011 3:38:00 PM 佳工机电网

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加拿大研发联盟将利用湿沉降技术推进MEMS生产

法国马锡和加拿大布罗蒙特--Alchime是一家领先的纳米沉降技术供应商，该技术应用于硅通孔（TSVs）、半导体互连、MEMS和其它电子应用。该公司今天宣布，MiQro创新协作中心（C2MI）已获得其成套产品许可。

C2MI是由加拿大魁北克省的谢布鲁克大学（Université of Sherbrooke）于2009年筹建的，拥有最先进的MEMS设施。该中心的200mm MEMS和3D晶圆级加工（WLP）设备是世界上最先进的，这些设备将保证其成员测试各种用于MEMS生产的材料。

Alchimer的成套产品及其Electrografting (eG)技术将支持该中心的3D MEMS程序。Electrografting是Alchimer突破性的电化学加工工艺，可制备极高品质的聚合物和金属薄膜。

Alchimer首席执行官Steve Lerner说："MiQro创新协作中心及其成员跻身于3D集成MEMS的领先行列。他们正在推动这一领域的设计规则，我们很高兴他们选择我们的产品来支持这项工作。这对Alchimer的产品和湿沉降技术又是一次坚实的技术验证。"

世界头号纯MEMS制造商Teledyne DALSA Semiconductor的研发副总裁Luc Ouellet说："Alchimer的Electrografting技术极大地提高了MEMS、3D-IC和片上互连的产出，并且该技术还为推进低投入、高产出的3D MEMS生产技术的工作提供强大支持。"

关于Alchimer S.A.

Alchimer从事创新的化学配方、制程和知识产权的开发和营销，其产品主要应用于各种微电子和MEMS的纳米薄膜沉积，其中包括晶圆级互连和三维TSVs (硅通孔)。该公司的突破性技术Electrografting（eGTM）是一个电化学的制程，能够在导体和半导体生成各种类型的超薄镀层。Alchimer的潜力最初由法国创新署(OSEO)战略产业创新计划所确认，该计划支持具有商业化价值的最先进技术。Alchimer成立于2001年，是法国原子能总署（Commissariat à l''Energie Atomique，CEA）的分拆资产。总部位于法国马锡，并于当年获得法国研发及产业局（French Minister of Research and Industry）颁发的"高新科技公司创立国家首奖"（First National Award for the Creation of High Tech Companies）。公司现为"《红鲱鱼》欧洲100强公司"（ Red Herring Top 100 European Company）之一。请访问Archimer网站：alchimer.com。

关于 C2MI

MiQro创新协作中心（C2MI）起始于谢布鲁克大学和微电子产业领先公司间的伙伴关系。这些创始的合作伙伴已共同创建了一个促进吸收其它工业和学术伙伴的良性系统。学术界和工业界研究者以独创的方式紧密合作。

最初的21845万美元投资 (用于建设和研究设备) 来源于加拿大工业部 (8295万美元)、加拿大经济发展和创新出口部(9490万美元)、布罗蒙特镇(价值1500万美元的10年免税)和创始伙伴及设备供应商(4060万美元)。请访问C2MI网站：www.c2mi.ca。

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