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欧姆龙开发燃料电池用MEMS流量传感器“形D6F-70”
http://cn.newmaker.com 1/18/2011 10:13:00 AM  日经BP社
欧姆龙开发燃料电池用MEMS流量传感器“形D6F-70”欧姆龙于2011年1月14日发布了可测量燃料电池气体流量的新款MEMS流量传感器“形D6F-70”(图1)。此前产品可测量的最大流量为50升/分,而此次的产品提高至70升/分。2011年1月25日开始上市。2013年度的销售目标约为20万个。

该产品设想用于家用燃料电池系统空气极的流量控制。该用途“需要具有70升/分的检测性能”(欧姆龙),因此对原产品作了改进。“通过改进内部流路的构造而实现”(该公司)。配备的MEMS流量传感器元件与原产品相同,尺寸为1.55mm×1.55mm×0.4mm。形D6F-70的外形尺寸为84.6mm×32mm×30mm。

欧姆龙计划2012年度上市可测量的最大流量为200升/分的产品。该产品将用于商用燃料电池系统等。

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