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日本Roper上市用于半导体制造装置检查等的低噪声高速相机

http://cn.newmaker.com 11/29/2010 8:50:00 AM 日经BP社

日本Roper（总部东京）价格降至原产品60％且噪声降至1/10的EMCCD相机“Rolera em-c²”系列，2010年11月26日开始上市。EMCCD是具有电子倍增功能的CCD，可在抑制噪声产生的同时放大输出信号。Rolera em-c²由以可见光拍摄的“标准版”，和可捕捉波长为200～300nm的真空紫外线范围光线的“远紫外线（Deep UV）版”，后者主要用于半导体制造装置和太阳能发电面板制造装置的检查等。

该相机的特点是配备了无需对EM增益（放大信号）与噪声比作繁杂调整的“Easy-EM 模式”，可轻松拍摄高S/N比的图像。如果选配利用安装RGB液晶彩色滤光片的“EM-RGB 模式”，“可获得与3CCD相机相同的色彩表现性和灵敏度”（日本Roper），还能用来拍摄生物化学实验等中使用的微弱荧光发光。帧率在分辨率为1004×1002的全像素时为34.2fps。价格方面，标准版为298万日元（不含税）起，远紫外线版为328万日元（不含税）起。

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