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比利时IMEC开发出高灵敏度气体传感器 |
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| http://cn.newmaker.com
6/12/2010 5:18:00 PM
佳工机电网
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 比利时IMEC与荷兰HolstCentre开发出了高灵敏度的气体传感器。该传感器可以检测出浓度在ppm级别的气体。新产品的尺寸也小于原产品，可作为“ElectronicNose（电子鼻）”用于食品管理、医疗保健以及检测气体泄漏等用途。
该气体传感器如同在电路上集成了IC那样，在9mm×9mm的芯片上集成了160个小型MEMS。每个MEMS都是“桥”状振子的一种，嵌入在压电材料中。
检测气体的原理如下。首先，事先在该传感器芯片上涂布高分子材料，目的是吸附希望检测到的特定气体。吸附气体后，MEMS的共振频率会发生变化，因此压电材料产生的电位频率也会发生变化。由此可以检测出气体的吸附情况。
吸附剂可以通过喷墨的方式分别涂布在每个MEMS上。由此还可以检测出混合气体中的各种成分比。
传感器的功耗方面，每个MEMS均不到1μW。
目前，IMEC等正在推进将该传感器芯片与信号读取电路集成在一枚芯片上的开发工作。目前使用的吸附剂组合，可以辨识葡萄酒和奶酪的香味。据介绍，将来有可能用于识别人的哮喘、肺癌以及肾脏病等。
图：IMEC所设计的MEMS传感器，会根据涂布了吸收性聚合物的微结构振动变化来识别各种气体
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