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采用DMD的3D微型快速成型机走向“纳米”级分辨率 |
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| http://cn.newmaker.com
7/10/2009 9:59:00 AM
日经BP社
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JSR开始考虑将其子公司D-MEC销售的三维光成型机的分辨率提高一位，使其达到数百nm级。
作为新业务之一，该公司于2004年开始销售具有μm级分辨率的光成型机，以开拓新应用领域中的材料市场。尽管该装置的原理与使用紫外线硬化树脂的三维成型机相同，但由于加工分辨率为μm级，因此可加工MEMS元件及微小装置。美国的大学在使用人造鞭毛的鞭毛马达实验中采用了该装置。使用该装置可一次形成多种形状的鞭毛，能够提高实验效率。
此次，为了提高分辨率，JSR考虑改变光学系统。微型成型机需要涂布紫外线硬化树脂，使其变成数μm厚的薄层，以1.7μm的平面方向分辨率对该层进行紫外光照射，便可形成任何形状。反复操作该工序并重叠薄层，便能形成立体形状。这时，该公司的装置可使用DMD（数字微镜器件）芯片进行紫外光照射。
DMD芯片有1024×768个13.7μm见方的微镜，可利用透镜聚集其反射光。1.7μm的水平方向分解能取决于该透镜的缩小率。用透镜聚光时，可相应地提高分辨率。JSR表示，分辨率可提高一位数。Z轴方向取决于紫外线硬化树脂的层叠厚度，该公司还准备进行这方面的改进。
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