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三星正在开发手机相机使用的MEMS快门
5/16/2009 11:43:00 AM
韩国三星电子(Samsung Electronics)目前正在利用MEMS技术开发小型数码相机用快门。该公司利用典型的MEMS技术在玻璃底板上形成了这种快门,有关技术已经在国际学会上发表。
这种快门为直径2.2mm的圆形,通过在玻璃底板上重复成膜工艺而实现。具体方法为,在玻璃底板上形成透明电极材料ITO(indium tin oxide),并在上面形成遮光膜。该遮光膜由36张具有10度角的扇形膜组成,36张膜形成一个圆形。36张扇形膜的圆周部被分别固定在ITO膜上,中心部则弯曲到上部。在该状态下,遮光膜不再遮光,快门便会“打开”。向ITO膜和遮光膜施加30V电压之后,二者之间产生静电,遮光膜便完全与ITO膜重合。在该状态下无法透光,快门便会“关闭”。
弯曲的遮光膜通过重叠两张薄膜实现。比如,重叠Al和SiN的薄膜。由于两种材料的应力不同,可通过调整二者的膜厚来控制应力,由此形成所需要的弯度。演讲者表示,除了学会上发表的内容之外,至少2009年内无法透露其他内容,也未表明是否可能达到实用水平。
某些情况下,数码相机可以不用快门。如果不用快门时,就需要在短时间(如10μs以下)内传输图像传感器所捕捉的图像数据。但是,1000万像素等高像素传感器的图像数据传输速度有限,每帧图像的传输时间较长。无法在不失真的情况下捕捉移动速度很快的图像。因此,高端机型需要具备物理遮光功能。如果利用机械式快门实现该功能,手机内置型小型摄像头的尺寸就会增加,而且成本上涨。因此,三星考虑利用MEMS技术实现上述功能,从而解决尺寸及成本问题。(记者:三宅 常之)
三星(中国)投资有限公司联系方式:
网址:
http://www.samsung.com.cn/
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