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美国Siargo上市可在油气混合状态下测量的MEMS流量传感器

http://cn.newmaker.com 4/15/2009 11:42:00 AM 日经BP社

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展厅 11	传感器展厅差压变送器, 压力变送器, 压力传感器, 压力开关, 张力传感器, ...

美国Siargo上市了机床用MEMS流量传感器“FPX4008S”系列。主要用于可测量油气混合物（压缩空气和油液的混合物）流速的机床机械部分轴承部位的油气混合物供应的优化控制。此次通过配备压缩空气检测用和油液检测用二个MEMS传感器，可在更接近轴承的位置进行检测。

Siargo的流量传感器芯片的工作原理是：当经微型加热器加热的流体流经传感器时，根据因流速和质量不同而产生的温度变化来测定流量。在2mm×4mm的硅底板上利用MEMS技术制造而成。MEMS流量传感器芯片委托德国microFAB Bremen. GmbH制造。

FPX4008S系列的标准售价，检测润滑管内有无油液的“FPX4008S-A”为1万8000日元（不含税）。日本国内由丸红信息系统销售。

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