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美国Tanner谈MEMS设计的产品特色
http://cn.newmaker.com 2/3/2009 1:45:00 PM  日经BP社
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差压变送器, 压力变送器, 压力传感器, 压力开关, 张力传感器, ...
作为MEMS掩膜设计工具,美国Tanner Research的产品是有口皆碑的。在EDS Fair 2009的会场上该公司介绍了与其它公司产品的不同之处。

在北京奥运会的开幕式上,现场(9万2000人)观众使用的电子荧光棒采用了通过光和影绘制出文字的方式。电子荧光棒的加速度传感器为美国MEMSIC的产品,利用了Tanner公司的MEMS掩膜设计工具“L-Edit MEMS系列”设计而成。

在本次采访中,Tanner介绍了另一个使用L-Edit MEMS进行设计的MEMS产品。这就是用于医疗设备的MEMS。美国Proteus Biomedical将MEMS用于人工心脏中脉冲发生器的传感器,其设计应用了L-Edit MEMS掩膜设计工具。

Tanner的Massimo A. Sivilotti(首席科学家)和Daniel R. Hamon(EDA 部门总经理)介绍说,该公司的L-Edit MEMS具有其它公司产品所没有的多个特点,所以才在市场上广受好评。

首先,Tanner Research将MEMS的开发作为一项业务。Tanner Research的“Tanner”是创始人的姓氏,“Research”表示该公司接受委托研究业务。其主要业务是接受来自美国政府和企业的MEMS委托研发。通过相互交流委托研究业务,“Tanner的EDA部门掌握了MEMS设计所需的工具规格”(Sivilotti)。

在这些规格中,大型EDA供应商的掩膜设计工具所没有的功能是与机械类CAD(MCAD)的接口。L-Edit MEMS可通过MCAD读取标准的DXF文件,利用电子设计转换成标准的GDS-II文件(可将GDS-II转换为DXF)。

另外,除利用LSI设计绘制一般的直线和45度倾斜线等外,L-Edit MEMS的最大特点是还具有轻松绘制曲线的功能(曲线工具)。除绘制曲线形状和进行图形的逻辑运算外,还可以定义算式形成参量。

此外,包括曲线在内,L-Edit MEMS还可以执行DRC(design rule check)。“多数MCAD工具没有DRC功能。因此,L-Edit MEMS比MCAD具有更强的优势”(Sivilotti)。

而且,DRC的规则除文本格式外,还可以通过GUI定义。此时,即使没有工具专家,也可以轻松定义规则。“目前,通过MEMS同时进行工艺开发和图形设计的情况较多。设计规则变更频繁。因此简单定义设计规则显得尤为重要”(Hamon)。

最后,Hamon表示L-Edit MEMS是Tanner的EDA产品群的一部分。也就是说,L-Edit MEMS是以LSI设计用掩膜设计工具“L-Edit”为基础的另一款EDA产品,比如,将电路图编程“S-Edit”和模拟电路“T-Spice”等结合使用。而且,由于Tanner的产品采用和其它EDA供应商的产品相同的接口,因此可以将利用L-Edit MEMS制作的MEMS的设计数据轻松地传给其他EDA供应商的产品。

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