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安川电机在SEMICON JAPAN展出双臂真空搬运机器人
http://cn.newmaker.com 12/8/2008 12:47:00 PM  日经BP社
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安川电机在“SEMICON JAPAN 2008”(12月3日~5日,幕张Messe会展中心)上公开了最重可搬运75kg(包括机器人手臂)的双臂真空搬运机器人。该机器人用于搬运有机EL面板,能够搬运2片蒸镀掩模和底板。原来的机器人有1只手臂,且最重只能搬运65kg。

该公司将巨大的搬运机器人携入展区现场进行实际演示。其最大行程为2300mm,能够支持第四代底板尺寸。看到如此震撼的演示之后,不少参观者赞叹“搬运速度比想象的快很多”。

彩色有机EL面板的制造工序一般使用金属掩模分别涂布支持RGB三色的有机EL材料。由于金属掩模较重,需要能够搬运较大重量的真空机器人。另外,为了在与液晶面板的成本竞争中取胜,也要求提高蒸镀装置吞吐量。此双臂真空机器人就是为满足这一要求而推出的。

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