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EGURO开发加工精度1.0μm以下的超高精度CNC车床
http://cn.newmaker.com 11/11/2008 3:37:00 PM  日经BP社
EGURO开发加工精度1.0μm以下的超高精度CNC车床日本EGURO(长野县冈谷市)开发出加工精度极佳的CNC车床“100-Nano”,并在“第24届日本国际机床展(JIMTOF2008)”(2008年10月30日~11月4日,东京有明国际会展中心)上展出(图1、2)。加工精度在1.0μm以下。旨在以超精密旋削技术支援客户开拓新市场(图3)。

夹持工件的主轴采用空气静压轴承。X轴和Z轴分离,采用误差不叠加的结构。滑轨方面,左右各设置1条截面呈倒V字形突出的滑轨,提高了直进性。在倒V字形的表面上熔射具有滑动性的钼形成皮膜,然后打磨加工。底座采用热膨胀系数低、振动衰减特性良好的人工花岗岩,提高了抗热变动和振动性能。

藉此X轴的追踪精度达到0.5μm,Z軸达到1.0μm,圆度达到0.05Mμm。

价格为1800万日元(不含税)。


加工部分。截面为“V”字形的滑轨左右各设置1条,提高了X轴的直进性


工件样本。加工出镜面状的漂亮半球

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