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美国公司展出通过超声波振动高精度涂布薄膜的喷涂装置

http://cn.newmaker.com 11/7/2008 9:10:00 AM 日经BP社

美国Ultrasonic Systems在“FPD International 2008”（10月29日～31日）上展出了通过超声波振动高精度涂布薄膜的喷涂装置。该技术能够实现原来使用喷嘴的喷涂装置难以实现的高精度涂布，材料利用率高达95～99%，还能够涂布混有微粒的液体。该产品在日本国内代理商伊藤忠产机的展位内展出。

Ultrasonic Systems的超声波喷涂技术原理如下。让喷涂的液体与利用超声波上下振动以生成液滴的头部相互接触，将液体尺寸细化为次微米级，然后直接涂布。原来使用喷嘴的空气喷涂方式在气压作用下使液体“接触底板”，而此次的超声波喷涂方式则将打得很细的液体直接“涂布到底板上”。

这种方法的优点是：（1）由于涂布的是微细化至次微米级的液体，所以可以形成次微米级膜厚以及高精度形成薄膜；（2）空气喷涂方式的问题在于液体被底板弹回及液体向旁边飞散，而此次开发的方法不会产生这些问题；（3）由于液体是在分散后的状态直接涂布的，所以材料利用率高达95～99％；（4）不需要空气喷涂装置通常使用的喷嘴，不会出现喷嘴堵塞的情况。

其中，由于不会造成喷嘴堵塞，因此能够涂布含有微粒的液体。比如，在美国曾用于涂布C（碳）和Pt（铂）等燃料电池的电极材料。在FPD（平板·显示器）方面，有望用于TFT形成后形成导电膜等用途。

Ultrasonic Systems的超声波喷涂装置“Prism”的涂布面积为400mm×400mm，涂布速度为500mm/秒。

不使用喷嘴而将利用超声波振动细化的液体涂布到底板上

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