 在“FPD International 2008”举行前日（2008年10月28日）的新产品说明会上，AKT发布了支持第10代玻璃底板的等离子CVD和EB（电子束）测试仪的概要。两装置均支持2850mm×3050mm级的玻璃底板，是支持第8.5代的原机型的扩大版，工艺性能也和原机型相同。
在新产品说明会伊始，AKT显示器及薄膜太阳能产品事业群高级副总裁兼总经理Gilad Almogy介绍了生产显示器和太阳能电池的美国应用材料公司（AMAT）的业务。随后，AKT显示器业务群副总裁兼总经理ID Kang介绍了支持第10代的等离子CVD装置“AKT-90K PECVD”和EB测试仪“AKT-90K EBT”。
等离子CVD装置AKT-90K PECVD由最多5台的制程舱（process chamber）、负荷固定舱（load lock chamber）、以及位于他们中心的传输舱（Transfer Chamber）构成。设置面积约为14m×14m（图1）。
与支持第8.5代的原机型相比，支持的底板面积增大1.6倍，装置的长和宽分别增大1.3倍。此外，高度是原机型的1.2倍，为4.2m。装置的重量是第8.5代支持机型的2倍，重达228吨。
对大型化装置而言运输是最大的问题，为解决这一问题，采取了客户端组装方式（MAC: Marge at Customer Site），成立了从最佳场所供应组装部件的全球性供应链管理体制。尤其增加了从台湾等亚洲地区的部件采购比例，2008年来自亚洲地区的CVD腔供应增加了2.4倍以上。
作为CVD装置心脏部分的制程舱支持原机型的规模扩大（scale up），不过为了得到和原机型同等的成膜速度、膜质和均一性，保证电极的机械平行度和底板温度的均一性是非常重要的（图2）。 
图2 等离子CVD装置AKT-90K PECVD的制程舱
EB测试仪AKT-90K EBT也和等离子CVD一样，是原机型的扩大机型。装置的设置面积约为5.7m×13m，重量是原机型的1.7倍，为60吨。为确保大尺寸底板的检测时间，配备了9个直线状的EB镜筒（图3）。
图3 支持第10代的EB测试仪“AKT-90K EBT”
AKT计划在“FPD International 2008”上展示这两款新装置。
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