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尼康用于第7-8代玻璃底板的液晶曝光装置吞吐量提高约20％ |
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| http://cn.newmaker.com
10/26/2008 10:09:00 AM
日经BP社
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 尼康投产了支持第7代和第8代玻璃底板尺寸的液晶曝光装置新机型。与该公司原机型相比，吞吐量提高了约20％。
支持第7代的“FX-75S”最大可曝光1950mm×2250mm的玻璃底板。将该底板裁切成8枚42英寸面板时的吞吐量为496枚/时，裁切成6枚48英寸面板时的吞吐量为378枚/时。该公司现行产品“FX-73S”的吞吐量为，42英寸时为423枚/时，48英寸时为322枚。换算成制程时间时，处理1枚玻璃底板所用的时间从68秒缩短为58秒。
支持第8代的“FX-85S”最大可曝光2200mm×2500mm的玻璃底板。将该底板裁切成8枚46英寸面板时的吞吐量为480枚/时，裁切成6枚52英寸面板时的吞吐量为322枚/时。该公司现行产品“FX-83S”的吞吐量为，46英寸时为400枚/时，52英寸时为263枚。换算成制程时间时，处理1枚玻璃底板所用的时间从72秒缩短为60秒。
此次投产的2款新机型的销售起始时间为2008年10月。韩国和台湾的面板厂商计划在2009年新建及增强第7代和第8代液晶面板生产线。（记者：田中 直树）
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