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卡西欧开发出液晶面板制造的“二氧化碳零排放”技术
http://cn.newmaker.com 6/26/2008 11:53:00 AM  《日本经济新闻》
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卡西欧计算机开发出了一种新技术,能够以不会导致地球变暖的“二氧化碳零排放”气体,替代液晶面板制造工序中所使用的气体。具体来说,就是将以前硅膜精密加工中使用的六氟化硫(SF6)气体换成氟气体。通过停止使用温室效应比二氧化碳(CO2)大2万倍的SF6气体,预计可使该公司元器件业务所产生的温室气体排放量减少约2成。

由日本国内电子部件及设备制造过程中排放的SF6气体所产生的温室气体,以CO2换算超过110万吨。如果SF6气体替代技术可应用于量产,将成为业界关注的焦点。

氟气体的缺点在于容易与其他物质发生反应,甚至会发生爆炸,难以操作。卡西欧介绍,“经反复实验,可通过盐酸及硫酸级别的管理技术来克服上述缺点”。在质量保证方面,该公司在气体的使用量及电压等使用条件上下了工夫。

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