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美国维易科开发出对材料机械特性进行nm级别分析的技术
http://cn.newmaker.com 6/26/2008 11:41:00 AM  日经BP社
美国维易科开发出对材料机械特性进行nm级别分析的技术美国维易科精密仪器(Veeco Instruments)发布了对材料的机械特性进行nm级别分析的技术“HarmoniX”。该技术对原子力显微镜(atomic force microscope:AFM)所用探针的支撑悬臂梁受到的力,通过独创的算法进行分析,可同时实时地分析材料的弹性率、附着性、剥离性等物性。

当专用探针(见照片)与材料接触时,可测定支撑该探针的MEMS悬臂梁的扭曲及挠曲量。根据测定值,实时计算出各种机械特性,并绘制出相应的数据图。与以往的测定等相比,可快速显示分析结果。

图为探针的图像。

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