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摩托罗拉:利用半导体技术制造三维超小型燃料电池 |
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http://cn.newmaker.com
5/9/2008 10:09:00 AM
日经BP社
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美国摩托罗拉在“Small Fuel Cells 2008”(美国亚特兰大,4月30日~5月2日)上,就具有三维构造的手机用超小型燃料电池的制造方法发表了题为“Fabrication of 3D Micro Fuel Cell for Cell Phone”的演讲。
摩托罗拉计划制造容积与现有手机配备的锂离子充电电池同为8mL,包含燃料电池单元、燃料盒及小型锂离子充电电池的燃料电池系统。8mL容积中,如果2mL是锂离子充电电池、4mL是燃料盒的话,电池单元就只有1mL左右。
因此,该公司此次制造的不是原来的二维(平面)单元,而是可以扩大单元反应面积的三维结构单元。具体是在硅晶圆上的1cm2面积上立体地形成六个单元集合体。一个单元体内集合有约100个圆筒状超小型单元。1个单元的尺寸为直径100μm×高100μm左右。
单元的圆筒内周由燃料极、电解质及空气极构成。燃料从硅晶圆下面开孔处供应,空气从圆筒侧面供应。制造将采用半导体制造工序(图1)。首先,在硅晶圆上形成需要实施四次光刻工序的互连结构。然后,利用干蚀刻(DRIE)在硅晶圆上开孔,并制成燃料H2的供应口。
图1:三维单元的结构 之后,为了形成三维电极,首先要利用图形曝光技术形成高100μm左右的同心圆状筒状物。并在筒内充满含有PS(聚苯乙烯)微粒等的胶体溶液,使其干燥以形成PS微粒堆积物。
硅晶圆最上面预先形成了一层薄Au(金)层,PS微粒堆积物下面也是Au层。因此,利用从堆积物上面施加电场时发生的电镀原理,对PS微粒表面镀铜。然后,将原来同心圆状筒状物和PS微粒除去,便只剩下由同心圆状的铜形成的筒状物(图2)。从而成为兼作气体扩散层的电极(燃料极和空气极)。
图2:兼作气体扩散层的电极结构 接下来,在该同心圆状电极内充入美国杜邦(DuPont)的氟类高分子材料“Nafion”溶剂,制作电解质膜。同时,密封上部以防止气体从燃料极和电解质膜处泄露,再通过最后工序将空气极表面处理干净,单元集合体就制成了。
目前,摩托罗拉正在优化最后工序,近期将公布燃料电池的性能。
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