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日立金属开发出“全球最小”三轴加速度传感器 |
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| http://cn.newmaker.com
4/24/2008 10:21:00 AM
日经BP社
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 日立金属开发出了“全球最小”的三轴加速度传感器。外形尺寸为2.5mm×2.5mm×1mm。为压电电阻型，采用树脂封装。
该产品的外形尺寸（体积）比原产品减小了30％。重14mg，比原来减轻46％。确保了2万g以上的耐冲击性。可检测的最大加速度为±4g或±8g。以12位数据从I2C接口输出信号。在3V电压下工作时，消耗电流为0.27mA。通过采用不具备机械共振点的结构，可以消除从外部施加振动时对加速度检测造成的影响。将于5月开始供应样品，计划包括该产品在内，使三轴加速度传感器的整体销售额在2008年度达到20亿日元，2009年度达到30亿日元，2010年度达到40亿日元。
此次采用的压电电阻型产品通过检测支撑重心的硅梁的挠度来检测MEMS重力加速度的变化。挠度通过硅梁上形成的压电电阻的变化来检测。这种方式的特点是可以提高灵敏度，但缺点是难以实现有利于降低成本的树脂封装。难以树脂封装的原因是：如果MEMS传感器部分被树脂覆盖，由树脂热变化等产生的应力会使压电电阻发生变化，导致无法准确地检测加速度。因此，该公司通过采用应力对MEMS部不产生影响的元件结构，克服了这一缺点。
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