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碳/碳复合材料应用于硅晶体热场系统获突破 |
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| http://cn.newmaker.com
4/10/2008 12:35:00 PM
佳工机电网
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3月12日，由湖南南方搏云新材料有限责任公司和中南大学共同完成的“碳纤维增强碳基体复合材料及硅晶体生长炉热场研制与开发”项目在长沙通过了湖南省科技厅组织的科技成果鉴定。
专家认为，该成果根据硅晶体生长炉热场系统零件的功能，成功设计了低密度、高中密度、密度梯度三类碳/碳复合材料，产品种类齐全。材料的主要性能参数符合制造硅晶体生长炉热场系统要求，促进我国高端半导体生产所需的热场材料跨上了一个新的台阶。并且系统地开发了拥有自主知识产权的碳纤维增强碳基体材料生产工艺，有效保证了产品的性能和质量。在国内的硅晶体热场系统中，首次成套地采用碳/碳复合材料，拥有硅晶体生长炉热场材料制品、制备工艺和成套设备的核心技术，产品填补了国内空白，总体技术达到国际先进水平。
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