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日本神视上市精度为±3.0%F.S.的流量传感器
http://cn.newmaker.com 4/8/2008 2:23:00 PM  日经BP社
日本神视上市精度为±3.0%F.S.的流量传感器日本神视(SUNX)公司推出了显示一体型数字流量传感器“FM-200”系列。采用了新开发的整流机构,配备了尺寸为3.0×3.5mm的小型硅传感器芯片。由此降低了热容量,实现了±3.0%F.S.的精度。

以夹着加热器的方式设置两个温度传感器,利用这两个温度传感器检测到的温度分布,这样便可实现顺向、逆向的双向检测。由于可用一个温度传感器进行双向检测,因此另一个温度传感器可用于检测给/排气。例如,可通过一个温度传感器确认芯片元件的吸附和打开情况。

机身上配备的显示屏设有副屏,可显示设定条件。另外,通过显示红绿两种颜色,便于了解传感器的工作状态。

此外,还配备了管理空气耗量的累计输出模式。当气体流量达到事先设定的累计值时,便可对输出实施导通/截止操作,可用于管理电子元件的氮气封入量。如果使流量传感器根据不同的规定累计值输出脉冲,便可了解到单位时间的空气消耗量,因此有助于制定成本管理和节能对策。

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