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美国SWAGELOK推出全新原子层沉积工艺用阀 |
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| http://cn.newmaker.com
6/22/2005 2:40:00 PM
佳工机电网
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6月21日，美国Swagelok半导体服务公司在上海国际会议中心举行媒体见面会，宣布已面向半导体产业推出一款全新的阀产品---Swagelok @ AID系列阀。据了解，Swagelok@ALD系列阀是应用于原子层沉积（ALD）工艺的超高纯度气动阀。ALD技术是半导体产业的一项新兴沉积技术，也是半导体处理技术中发展速度最快的一个领域。为了达到ALD的严格要求，Swagelok的ALD系列阀具备了以下优势：该阀的制动速度极快，制动时间不超过5豪秒；具有极高的循环寿命---在产品评估是循环次数超过了25000000。
“中国市场是Swagelok系列产品销售的重要基地，大中国地区代表着Swagelok服务公司的未来，我们期待着在大中国市场实施开发计划并对发展前景表示看好。”Swagelok服务公司总裁Phil Roberts表示。
据悉，Swagelok服务公司现已在上海，北京，深圳，成都等12个城市设立了分销网点，以便于向半导体产业推广新产品和提供及时，便利的供应服务。
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