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零热膨胀微晶玻璃现身东京半导体展会 |
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| http://cn.newmaker.com
3/20/2008 2:16:00 PM
佳工机电网
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2007年12月，在日本东京SEMICON半导体展览会上，国际玻璃巨头德国肖特展出了一种重两吨、直径达1.6米的镜坯。制成这种高难度的镜坯，主要依靠一种叫做Zerodur的微晶玻璃。自1986年以来，Zerodu一直是天文望远镜特大镜坯的首选材料。它近乎零热膨胀，是微光刻机中的重要元件之一。Zerodur微晶玻璃也用于制造各种工业产品。它的零热膨胀特性使其成为测量设备中最理想的参考标准。其他产品包括微光刻和激光环动仪，用于替代笨重棱柱镜，制造手机、计算机、平面电视机的液晶显示屏等。
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