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滨松光子将上市通过TDI方式实现了高速和高分辨率的X线相机
http://cn.newmaker.com 2/12/2008 12:17:00 AM  佳工机电网
滨松光子将上市通过TDI方式实现了高速和高分辨率的X线相机滨松光子将于2008年4月上市可高速获得高分辨率X线图像的相机“C10650”系列(图1)。通过CCD的读取采用TDI(Time Delay Integration:时间延迟积分)方式,同时实现了高速和高灵敏度。X线相机包括分辨率为3072×128dpi的“C10650 221”和4608×128dpi的“C10650 321”,价格为210万日元和240万日元。

一般来说,CCD的电荷读取通常以线为单位进行垂直传输。TDI方式则结合了该传输的时序和射入CCD面的图像移动的时序,只进行CCD垂直级数的曝光(图2)。C10650系列通过分割传感器设置了按每一区域进行读取的放大器(图3)。由这些放大器并行输出信号后进行高速拍摄。能够以38Hz~2.28 kHz进行读取。

原来的线性传感器相机在放大检测微小部件时,一般是将被检测体沿X线源方向移动、放大并投影。但是,由于视野狭小,因此需要反复多次操作才能得到图像。而X线TDI相机同时具备大视野和高分辨率,可在一次性获取整个视野内的高分辨率信息后,放大任意部分。

新产品主要用于观察封装底板上焊点的空洞及形状。滨松光子还将把该相机作为非破坏检查装置的高灵敏检测器进行OEM供应。

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