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磨床/珩磨设备 |
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日本开发出全球最大加工尺寸的超精密龙门平面研削机床 |
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| http://cn.newmaker.com
12/13/2007 3:39:00 PM
日经BP社
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 日本冈本工作机械制作所2007年12月7日公布了加工范围“达到全球最大级别”的大型超精密高刚性龙门式平面研削机床“UDG10035NC”。主要用于加工用于半导体与液晶装置的大型高精度平面工件，加工范围为长10m×宽3.5m（通过宽度为4m）。研削机床将安装在该公司位于群马县安中市的安中工厂，计划12月投入运行。
近年来，平板显示器（FPD）的尺寸日趋大型化。同时，光掩模以及XY工作台等FPD制造需要的装置也日益大型化。对可以高精度加工大尺寸部件的机床的需求日益扩大。新设备就是用来制造满足上述要求机床的“母机床”。
加工大型研削机床的部件时，原来使用的是加工范围为10m×2m的研削机床。新设备可以加工更大尺寸的部件，“加工时间比原来减少大约一半”（冈本工作机械制作所）。
新设备包括工作台和横梁（Cross rail）两部分。其中，工作台左右移动用来固定工件。横梁上设置有保持两种砂轮主轴的单元，并可前后移动。新设备的特点是除了工作台，一般认为比较困难的横梁方向也提高了真直度的精度。前后左右方向上的精度均为0.5μm/m。
在可像工作台导轨面那样可动部分和静止部分相互接触的面上采用了该公司擅长的“可变静压滑动系统”。静压方式是指向导轨面的空隙供给高压流体，使两个面之间保持非接触状态，维持导轨面的刚性。可变静压方式则进一步根据导轨面的负荷控制流体的流量。这样，在防止工作台倾斜的同时，还可以减小导轨面的磨损。使用可变静压方式时，导轨面的刚性是采用静压方式的大约4倍。
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