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光学仪器 |
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尼康上市支持半间距40nm工艺的自动宏观检查装置 |
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| http://cn.newmaker.com
12/6/2007 9:34:00 AM
佳工机电网
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 尼康将于2007年12月15日上市支持300mm晶圆（半间距为40nm）最新半导体量产线的自动宏观检查装置“AMI－3400”。该检测装置应用了波动光学原理。可以通过全面、高速地检测晶圆的剖面形状（图案剖面）变化，将检测信息反馈给包括曝光装置在内的主要生产装置，来提高工艺管理效率。
“AMI系列”的特点是能够以与扫描电子显微镜（SEM）相当的灵敏度对所有晶圆进行全面高速检查，从而检测出曝光装置焦点变化引起的图案剖面变化。新产品AMI－3400作为用于半间距40nm量产工艺的检查装置，能够对应节点（Node）检测需求并提高检测灵敏度，在对300mm晶圆进行全面检查时，处理能力达到了160片/小时以上。由于能够对不同工序的合格品范围抽取出复数个独立的图像特征值进行学习，来抑制制造工艺变化的影响，不降低检测灵敏度便可完成检测。该装置1亿7000万日元起价（价格因配置而异），预计上市第一年度销售25台。
另外，尼康在2007年12月5～7日于幕张MESSE会展中心（千叶市）举行的“SEMICON·JAPAN 2007”上对该检查装置进行了展板展示。
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