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中科院固体所制备出可调光氧化铝薄膜
http://cn.newmaker.com 11/20/2007 2:19:00 PM  佳工机电网
中科院固体所制备出可调光氧化铝薄膜据中国科学院网2007年11月20日报道:最近,中科院固体所费广涛研究员的课题组采用简单的电化学阳极氧化和后续化学刻蚀的方法,成功制备出具有三维有序孔阵列结构的多孔氧化铝薄膜,实现了在可见光范围内对入射光截止带进行调控。该研究结果发表在《纳米技术》(Nanotechnology, 18(2007)365601)上后,立即受到英国物理学会光学分会的关注,并在其网站上(相关链接:http://optics.org/cws/article/journals/30834)作了特别报道。

特别报道指出:“来自中国的研究人员们描述了一种在可见光范围具有很强的光子带隙的大面积的光子晶体的合成方法……该研究小组描述的方法提供了一种经济、快速的合成大面积光子晶体的可能途径。该合成方法的另外的一个优点是,样品反射的波长可以很容易的由化学刻蚀的时间来加以调节。因此,这种氧化膜可以直接用来制作光学器件,例如窄波段的滤光片等。”

基于高纯铝片阳极电化学氧化过程中氧化电压决定孔径大小的规律,博士研究生王彪在其导师费广涛研究员的指导下,通过周期性地调整阳极电化学氧化电压,结合化学刻蚀来扩大多孔氧化铝薄膜的孔径,最终制备了具有三维有序孔阵列结构的多孔氧化铝薄膜。这项研究不仅有助于人们更深入地理解多孔氧化铝中纳米孔的微观生长机理,还提供了一种经济快速的大面积对入射光截止带进行调控的多孔氧化铝薄膜的合成方法。该项工作得到了科技部973项目、国家自然科学基金和中国科学院“百人计划”的资助。

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