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美国SP3公司为赫瑞瓦特大学安装先进的金刚石沉积设备 |
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| http://cn.newmaker.com
11/13/2007 11:16:00 PM
佳工机电网
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 ——化学气相沉积金刚石应用新进展
美国SP3金刚石技术公司（以下简称SP3公司）是一家全球领先的金刚石薄膜产品、生长设备以及服务供应商。在不久前销售出一套先进的650型热丝法CVD金刚石沉积设备之后，SP3公司宣布，他们已经将该套设备安装到位于苏格兰爱丁堡的赫瑞瓦特大学。作为该大学研究中的一个组成部分，本设备正在被用来研发一项可承受核聚变反应所产生巨大热量的技术。赫瑞瓦特大学在国际热核聚变实验堆（ITER）计划中扮演重要角色。ITER计划是当今世界科技界为解决人类未来能源问题而开展的重大国际合作计划，累计耗资100亿欧元，其目标是发展无污染且对全球变暖问题无影响的核能源。
由于金刚石对下一代核反应堆所产生的热量具有独一无二的承受能力，因此赫瑞瓦特大学将带有金刚石涂层的基体选作反应堆的墙体材料。此外，金刚石的抗辐射能力以及它在氢等离子体环境中的化学稳定性也是金刚石成为被选择材料的重要原因。
“我们相信，我们正在进入一个金刚石性能被前所未有地挖掘的新时代，并且金刚石将会成为越来越多领域中的不二选择”，美国SP3公司主席兼首席运营官Dwain Aidala如是说，“我们的设备得以采纳的主要原因是由于它能够实现大面积且低成本地沉积金刚石薄膜。我们看到，650型沉积设备中的专利技术和核心工艺将使其成为CVD金刚石在更多市场领域得以推广的催化剂。”
美国SP3公司的650型设备可以在各种基体材料上面大面积且低成本地沉积高品级聚晶金刚石薄膜，沉积厚度可以根据需要在200纳米和50微米之间自由选择。化学气相沉积（CVD）工艺可在直径达300毫米的区域内沉积生长金刚石等材料，沉积产品可用作耐磨涂层、热管理元件基体、太阳能电池等用非晶硅、水处理和电化学用电极、半导体卡盘用钝化层、切割工具等等。（翟世超 编译）
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