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吉时利上市具备丰富分析功能的C-V测定模块 11/3/2007 3:28:00 PM

吉时利上市具备丰富分析功能的C-V测定模块

吉时利仪器（Keithley Instruments）上市了分析辅助功能有所加强的半导体元件开发用C-V测定模块（英文发布资料）。新型产品名为“4200-CVU”。嵌入到该公司制造的半导体特性评估系统“4200-SCS”中使用。利用了该公司的低噪声系统设计技术，能够在10kHz～10MHz的频率范围内正确测定fF～nF电容。

4200-CVU内置了各种有助于半导体元件开发的程序范例和参数提取实例。因此能够以LSI的high-k和low-k结构、MOSFET、BJT（bipolar junction transistor）、二极管、闪存、光电池、化合物元件、碳纳米管元件为对象，进行C-V、C-t、C-f的测量和分析。另外，利用参数提取软件除了能够测量结电容、引脚间电容、片内互连线电容外，还可对掺杂分布、氧化膜厚度、游离子、载子寿命等进行分析。价格为166.4万日元。（记者：伊藤元昭）

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地址：	中国·北京·北京市海淀区北太平庄路18号城建大厦A1301 邮编100088

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