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AKT开发出TFT液晶面板溅镀设备 |
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| http://cn.newmaker.com
10/29/2007 12:26:00 PM
佳工机电网
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美国应用材料（AMAT）旗下的日本AKT开发出支持2200mm×2500mm底板的TFT液晶面板溅镀设备。用于金属膜及透明电导膜的成膜。
3倍的靶材使用效率
该设备的特点是：靶材的使用效率是“其它竞争企业产品的3倍”（ATK），可降低面板的生产成本。这是通过采用旋转靶代替过去的平板靶实现的。此外，将靶的调节所需的底板数量从过去的50枚大幅减少到1枚。这也对生产成本的降低做出了贡献。
在此之前，AKT在支持2200mm×2500mm底板的制造设备方面已经投产了等离子CVD设备、面向彩色滤色器用透明电极（ITO）的溅镀设备、电子束阵列检测设备。
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