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MEMS系统全球供货金额2011年将达720亿美元
http://cn.newmaker.com 7/21/2007 6:23:00 PM  佳工机电网
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差压变送器, 压力变送器, 压力传感器, 压力开关, 张力传感器, ...
SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)与调查公司法国Yole Developpement共同发布了全球MEMS(micro electro mechanical systems)相关市场的调查结果。包括汽车安全气囊系统、MEMS显示器系统和采用MEMS技术的喷墨打印机用喷墨盒等产品,MEMS系统市场2006年的供货金额为400亿美元。SEMI预测,MEMS系统市场的供货金额2010年将达到720亿美元。

以MEMS系统为主的MEMS元件市场06年的供货金额为59亿美元。今后,随着家电领域的需求扩大,该市场将以年均13%(CAGR)的速度持续增长,2010年将达到108亿美元。在此次调查中,MEMS元件的定义是First-level Packaging的芯片级部件,包括压力传感器、加速传感器、陀螺仪、硅麦克风及微流体元件等。

在生产MEMS元件中使用的材料与制造设备的市场,06年供货总额已超过10亿美元。预计截至2011年,材料市场将以年均13%、制造设备市场将以年均9%的速度持续增长。面板带动了对材料需求的扩大,占有了70%以上的市场。虽然在制造设备市场中老式半导体制造设备占很大比例,但也可以看出面向200mm晶圆生产线、特定MEMS用途的蚀刻以及Bonding等新技术的过渡。

SEMI新兴技术部门的高级主管Lubab Sheet表示,“MEMS是一门用途非常广泛的技术,目前不少面向家电的技术正在向MEMS技术转换。原来的MEMS元件主要广泛用于面向消费者的产品,支持这一大部分需求的是200mm晶圆的生产线。在MEMS元件的生产上还存在着静磨擦(由于周围和表面的阻力使可移动部分黏在一起而不能移动)与封装等问题,这将给制造设备厂商和材料厂商提供新的机会”。

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