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压缩机/分离/过滤机械 |
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日本Ridokusion上市高纯度气体精制装置 |
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| http://cn.newmaker.com
8/12/2007 3:12:00 PM
日经BP社
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 日本风险企业Ridokusion开发出可将惰性气体中的氧分压降至10-30大气压的气体精制装置，2007年8月开始销售。与半导体工艺中使用的高纯度气体相比，氧分压可降低18个数量级，水分可减至十万分之一，所以很有可能用于有机EL制造和各种还原工艺。目前，3家有机EL面板厂商和3家面向半导体与FPD的装置厂商正在进行评测。
此次的装置采用管状氧离子导体（固体电解质）去除气体中的氧。在管内外壁间施加电压，同时使惰性气体在管内流动，气体中的残留氧将被排出管外。通过在装置内循环、贮藏气体，氧分压可降至10-30大气压。不经循环排出处理过的气体时，氧分压为10-24大气压。
该装置最初只是为了除去氧而开发的，但却发现还可去除水分。半导体工艺用惰性气体中一般含有100ppb左右的水分，如果使用此次的装置，可将其降至0.0008ppb。
Ridokusion是日本产业技术综合研究所的技术转让风险企业，06年12月开始运营。采用无工厂方式，装置制造委托佳能机械（Canon Machinery）。装置价格大约为4000万日元。
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