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“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”通过验收

http://cn.newmaker.com 8/2/2007 11:22:00 AM 佳工机电网

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展厅 18	新型电子材料展厅导电膏, 导电胶, 导电胶带, 导电粉, 热电材料, ...

日前，由西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的国家“863”计划项目“TDR—150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)” 在北京通过了验收，这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备在我国研制成功。验收专家组评价TDR—150型单晶炉性能稳定可靠，运行平稳，填补了国内12英寸无位错硅单晶生长设备的空白。

“我国以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在核心技术不足的问题，高端产品均为国外公司所垄断。”西安理工大学校长、课题组负责人刘丁教授介绍说，“硅单晶作为现代信息社会的关键性支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，也是发展计算机与集成电路的主要功能材料。”

“该项成果突破了国外技术封锁与垄断，初步改变了在我国晶体生长设备领域研发制造受制于人的局面。” 验收组组长、清华大学自动化系教授杨耕说，“该课题的完成对我国微电子和光伏产业的发展将起到积极的促进作用。”

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