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可进行稳定纳米级分析的透射式电子显微镜
http://cn.newmaker.com 5/29/2007 11:10:00 AM  日经BP社
可进行稳定纳米级分析的透射式电子显微镜日立高新技术(Hitachi High Technologies)2007年5月14日推出了新型场发射型透射式电子显微镜(FE-TEM)“HF-3300型”,分辨率为0.1nm、能够以纳米级别的分辨率稳定地分析原子水平的极微小材料。

冷阴极场发射电子枪采用了曾经用于扫描电子显微镜和透射式电子显微镜电子源的产品,具有高亮度和高分辨率。新产品通过在电子枪上结合使用300kV的高加速电压,实现了高稳定性。在分析极微小时,除能量色散型X射线分析装置(EDX)和电子能量损失光谱仪(EELS)外,还支持电子束全息摄影、位置分析型EELS及纳米电子束衍射等新分析方法。

透射式电子显微镜的加速电压越高,分辨率和透射力就越出色。在原子序数大、电子束难以穿透的金属及陶瓷的观察方面,可发挥300kV高加速电压的优点,无论试料的厚度和构成如何,均可进行稳定的超高分辨率观察。

标准价格为2亿8500万日元。预计07年度可获得5台订单。预定从07年9月开始供货。

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