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中温化学气相沉积工艺技术 |
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| http://cn.newmaker.com
2/14/2005 1:07:00 PM
成都工具所
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采用先进的中温化学气相沉积工艺技术(MT-CVD)和高温化学气相沉积工艺技术(HT-CVD)相结合，研究开发的TiN-Ti(CN)-Al2O3-TiN超级涂层材料，是20世纪90年代末期才问世的新技术。与已往的涂层材料相比，这种超级涂层厚度可以达到10~15Dmicro;m，涂层组织致密并呈柱状结晶，具有更高的耐磨性能、抗热震性能和韧性，可以大幅度的提高切削工具的使用寿命，有效解决了难加工材料、高速、重型切削、干切削等领域中工具使用寿命低的问题。此种技术研究成功后，引起了广泛重视，并得到迅速推广应用。
为了赶超世界先进水平，进一步提高成都工具所涂层刀片质量和市场竞争能力，成都工具所涂层技术研发部从2000年开始就进行了大型全自动控制涂层设备、中温化学气相沉积工艺技术和超级涂层材料的研究工作。我们克服了时间紧、技术难度大等多方面的困难，终于取得了成功。
研究成功的我国第一台大型计算机全自动控制的涂层设备系统，各项性能指标完全达到设计要求，涂层设备系统，各项性能指标完全达到设计要求，并投入了生产应用。每炉可生产涂层刀片5000片以上，年生产能力达100万片涂层刀片，使成都工具所涂层刀具生产水平、质量和产量提高了一大步。
中温化学气相沉积工艺技术和超级涂层材料生产技术，在国外各大公司都是严格保密的，引进这样一套工艺技术和设备，需要150万美元以上。我们在资金少、任务重的情况下，发扬艰苦奋斗、不畏困难的精神，经过精心设计、反复试验，终于攻下了这项具有世界先进水平的科技项目。
目前，成都工具所研究成功的中温化学气相沉积工艺技术和超级涂层材料，经过所内外多项严格检测分析，各项技术指标均达到国外先进水平。涂层刀片切削寿命比原高温化学气相沉积工艺提高近一倍，效果十分明显。
以上技术和设备研究成功不仅填补了国内空白，也使成都工具所涂层技术研究、开发、生产水平上了一个新的台阶。它的投产应用，无疑会给全所带来十分重大的技术经济效益。
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