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杜邦高性能弹性体零件胜任于苛刻的工作环境 |
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| http://cn.newmaker.com
3/11/2007 8:45:00 PM
specialchem
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杜邦高性能弹性体Kalrez 9100全氟弹性体零件专门用于侵蚀性等离子体环境的超低污染条件。Kalrez 9100零件在最苛刻的半导体制造过程中表现出异乎寻常的长期寿命，有助于降低昂贵的停工期并降低企业主的成本。
在沉积过程以及选择蚀刻和灰化处理等静态和动态密封应用时，Kalrez9100零件表现出的性能超越了更大的设备正常运行时间的工业维护标准。综合性能有效地延长了密封寿命，产生质量更高的芯片和更高的产量。Kalrez9100零件具有特点如下：
低腐蚀、极低的粒子生成
非常低的气体挥发和金属含量
良好的化学惰性，优良的耐化学烘干处理特性，包括氧和氟基等离子体
具有300°C最大连续运行温度的良好热稳定性，标准产品是Kalrez UltraPure产品。
Kalrez9100零件已经使用了各种条件苛刻的半导体处理应用进行了测试，其中在清理周期时，使用了氧和氟基的离子体。在许多的客户评价中，和静态和动态两种密封应用领域的竞争性全氟弹性体零件相比，它们表现出更少的侵蚀、更低的离子生成以及更长的密封寿命。Kalrez 9100零件在HDPCVD、PECVD、蚀刻和灰化应用时明显延长了PM循环时间，达到了两倍到三倍。DPE的全球半导体经理Steve Metaxas表示：“Kalrez 9100零件的开发是为了满足在腐蚀性等离子体环境中极耐腐蚀的需求。” “Kalrez9100零件使用的配方完全是聚合材料，因此颗粒生成极低。这有助于降低维护成本，可保证更长的设备正常运作时间。改良的质量明显带来了更高的晶片产量。”
杜邦高性能弹性体致力于全球半导体市场，有超过75年的历史，产品发展和专门技术在主要的工艺条件下产生了广泛的应用产品。
Kalrez全氟弹性体零件是通过特殊清理并且在100级别的工作站二次包装以显著降低污染的可能性。每一个商品用有条形码的袋子单独包装，具有充分的可追溯性，可以做成O形环、片材和定制零件等。
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